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分子泵有三种类型:牵引型分子泵、涡轮分子泵和复合型分子泵。按制造结构,可分为油润滑、脂润滑、磁悬浮(单磁永磁悬浮、全磁悬浮)。
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涡轮分子泵系统软件实际操作常见问题及常见问题清除:(1)不可以在前面泵工作中时(前面管路接入)和真空系统处在真空泵情况时将涡轮分子泵停用,不然可能使油蒸气快速过去级管道反流到泵的清理端。
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涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵,典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa,但在极限状态下,可以通过它实现 0.00000001Pa(大气压的十万亿分之一)的超高真空。