真空系统的基本知识
真空的定义：压力低于一个大气压的任何气态空间，采用真空度来表示真空的高低。
真空单位换算：1大气压≈1.0×105帕=760mmHg=760托
1托=133.3pa=1mmHg
1bar=100kpa
1mbar=100pa
1bar=1000mbar
TCO玻璃=Transparent Conductive Oxide 镀有透明导电氧化物的玻璃
TCO材料：
SnO2:F(FTO fluorine doped tin oxide氟掺杂yang化锡)
ZnO:Al(AZO aluminum doped zinc oxide铝掺杂氧化锌)
In2O3:Sn(ITO indium tin oxide 氧化铟锡)
TCO薄膜的制备工艺
1. 薄膜的性质是由制备工艺决定的，改进制备工艺的努力方向是使制成的薄膜电阻率低、透射率高且表面形貌好，薄膜生长温度低，与基板附着性好，能大面积均匀制膜且制膜成本低。
2.主要生产工艺：镀膜过程中有气压、基片温度、靶材功率、镀膜速度；刻蚀过程中有HCl浓度、刻蚀速度、刻蚀温度。
真空电镀工艺的整个工艺过程都是在高真空状态下在设备腔体内完成，所以通常只要设备设定参数与工艺要求相吻合时通常良品率会很高，但偶有操作不当也会产生，下面介绍几种现场品控的方法以供参考。
（1）目视法
目视法主要是通过观察电镀成品与样件膜层外观来品控产品的方法，虽然简单却又是不可或缺的，不同的膜材在经过真空电镀后会表现出不同的颜色，不同的质感，如铝的亮白、锡的黑灰、铬的q黑、在工艺完成后都会呈现在基材表面。所以当出现电镀成品的膜层外观与样件膜层外观不符时，首先要确定的是膜材是否置放正确，其次是确定工艺参数是否与该工艺相吻合，确定是否有操作不当。
（2）百格法
百格法即用百格刀或美工刀在膜层表面划出大约100个1mm见方的小格然后用胶带粘定后测试膜层与基体附着成度的方法。测定法方如下：
a) 首先在膜层表面用百格刀划出10*10个1mm见方的的网格，网格要穿透膜层。
b) 用相应胶带轻轻附在百格表面，并用手指覆压赶出二者之间气泡，然后静置1分钟，左手握住测试样品，右手食指和拇指捏住胶带一端，以与基材表面90度角的力迅速拉起胶带，反复三次以没有膜层脱落为合格。
（3）电流测定法
电流测定法主要针对于不导电金属和合金膜的测定，通过测定膜层表面电流来检测镀膜产品是否合格。
测定方法是：在膜层表面相距1cm的距离分别放置电流表的两个探头，打开电流表，观察电流表指针的情况。然后根据工艺要求来确定膜层是否合格。此种方法不仅可以检测所镀膜层是否是所需膜层，还可以根据电流情况来判断膜层厚度是否满足工艺要求。
理论上所有pvd真空镀膜加工都可以添加运用添加剂，下面咱们来看看电镀中运用添加剂的效果：
1.整平效果
能是基体微粗糙表面变得平坦，下降粗糙度。
2.润湿效果
可下降金属与溶液的界面张力，使镀层与基体能更好附着，使阴极上分出的氢气泡容易脱离，防止生孔。
3.细化晶粒
能改动镀层的结晶状况，细化晶粒使镀层细密，在锌酸盐镀锌液中假如不加添加剂，得到的是海绵状沉积物，参加添加剂以后，镀层细密、详尽而亮光。
4.亮光效果
参加亮光剂并与其他添加剂合作运用，进一步进步镀层亮光度，是装饰性电镀不可或缺的成分。
pvd真空镀膜加工所用到的添加剂还有许多其他效果，如进步镀层硬度、下降镀层应力等。添加剂应选择运用，有的添加剂兼有几种效果，在镀液中一般含有（1——2）种添加剂。目前运用的添加剂首要是有机化合物或合成物，无机化合物也合作运用。
与传统钢铁工业以资本消耗、环境负荷增加为价值进行扩大的模式不一样，经过改动外表功能来开发带钢资料新商品，能够同时满足环保、降低成本、节省资本和提高功能的归纳请求，并且，其开展潜力在理论上是w限的，因为外表操控的自由度大，能够满足用户各式各样且灵敏多变的需要。
以外表技能来开展新式带钢资料，主要依赖技能立异。外表技能将是将来钢铁公司商品的立异要点，是公司将来竞争力地点。开发新一代带钢镀膜技能与商品将是应对市场需要，提高公司竞争力的路径。新式外表技能和商品完成工业化将可能对钢铁公司和上下游职业的出产工序产生革命性的影响。
市场需要和现有技能局限性的矛盾，难以经过传统出产线的优化改造来完成，越来越严厉的环保规范也请求钢铁公司寻觅新式环保的外表处理和涂镀技能，在这方面，现在钢铁业的人士普遍认为非常有期望，非常具特征的技能研制方向即是真空镀膜技能。真空镀膜（包含物理气相堆积和化学气相堆积等）即是经过各种手法把被镀物质转换为气态，在带钢外表构成薄膜镀层。理论上一切的金属、非金属、有机物都能经过这个方式构成镀层。
